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| ■ Advanced Micro Processing Technology by AICP | |||
| AICP(Atmospheric Inductively Coupled Plasma) | |||
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| ■ 特徴: | |||
| 各種ガス(水素、ヘリウム、アルゴン等)及び混合ガスでの処理が可能です。大気圧なので、液中へのプラズマ | |||
| 照射処理も可能です。 | |||
| ■ 適用例: | |||
| ☆ 樹脂バリ取り | ☆ 各種フォトレジスト剥離 | ||
| ☆ 全ての樹脂系の剥離 | ☆ 接着剤除去等 | ||
| ☆ 鍍金前処理 | ☆ 表面の洗浄・活性化 | ||
| ☆ 金型等の油除去 | ☆ 表面改質 | ||
| ☆ 有機基板のハーフエッチング | ☆ 有機基板のスルーホール加工 | ||
| ☆ 酸化膜除去 | |||
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